Chiller for Semiconductor Industry
LNEYA è un'azienda produttrice di apparecchiature di fascia alta che integra ricerca e sviluppo, produzione e vendita. I suoi prodotti principali comprendono apparecchiature specializzate per il controllo della temperatura dei semiconduttori, macchine per il test d'impatto a bassa temperatura e dispositivi per il trattamento delle acque reflue del processo dei semiconduttori, ampiamente utilizzati in settori quali i semiconduttori, i LED, gli LCD e il fotovoltaico solare. Elevata precisione del prodotto, controllo intelligente della temperatura, ampio intervallo di controllo della temperatura, da -150 ℃ a+350 ℃, adatto alle esigenze di controllo costante della temperatura della maggior parte delle imprese. La precisione del controllo della temperatura può raggiungere ± 0,1 ℃ e i prodotti corrispondenti possono essere forniti da 0,5kW a 1200kW di potenza frigorifera.
Applicazioni
Suitable for semiconductor process wet washing, photolithography, etching, chemical meteorological deposition, physical meteorological deposition, and the electronics industry (photolithography process).
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
Customized Semiconductor Water Chiller
vantaggi del prodotto
- Risultati efficienti in termini di stabilità e ripetibilità della produzione;
- Utilizzo di scambiatori di calore a piastre e riscaldatori in tubazione per migliorare i tassi di raffreddamento e riscaldamento;
- Intervallo di temperatura molto ampio, senza necessità di sostituire il mezzo liquido;
- Sistema completamente chiuso, che prolunga la durata dei liquidi termoconduttivi;
- Adottando una pompa a trascinamento magnetico, non vi è alcun problema di perdita della tenuta dell'albero;
- Tecnologia di raffreddamento ad alta temperatura, avvia direttamente il compressore per raffreddarsi a 300 ℃.
Chiller di produzione a semiconduttore -40℃~100℃
Riscaldamento entro i 40 °C grazie all'aria calda del compressore di estrazione del gas
Il sistema di circolazione del refrigeratore adotta un design completamente chiuso e utilizza una pompa a comando magnetico.
Chiller 100% test ad elio, test di conformità alla sicurezza 100% per garantire sicurezza e affidabilità.
Chiller 100% funzionamento continuo della copiatrice dopo 24 ore
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Refrigeratore a gas
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Intervallo di controllo della temperatura: da -110 ℃ a -40 ℃
Gamma del volume d'aria: 15m ³/ H~100m ³/ H
È necessario fare degli sforzi per raffreddare la corrosione dei materiali, come l'aria compressa secca, l'azoto gassoso, l'argon gassoso, ecc. e introdurli nell'apparecchiatura della serie LQ a temperatura ambiente. I materiali ottenuti possono raggiungere la bassa temperatura standard ed essere forniti ai componenti o agli scambiatori di calore per i test di richiesta.
Refrigeratore a circolazione d'aria
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Applicazioni:
Intervallo di controllo della temperatura: da -105 ℃ a+125 ℃
Utilizzato per i test a bassa temperatura delle apparecchiature a semiconduttore. Apparecchiature elettriche - test di temperatura, bassa temperatura e temperatura costante di sorgenti di freddo e di calore; unità a ciclo frigorifero unico.
Caratteristiche:
Può lavorare ininterrottamente per lungo tempo, sbrinare automaticamente e il processo di sbrinamento non influisce sulla temperatura di conservazione; design modulare, facile sostituzione delle unità di backup (è necessaria una sola unità di backup)
Risolve il problema delle frequenti accensioni e della formazione di brina nel sistema di evaporazione; il processo di sbrinamento del sistema di evaporazione non influisce su di esso.
Sistema di forzatura della temperatura
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Applicazioni:
La macchina per prove d'urto ad alta e bassa temperatura di tipo jet fornisce una temperatura ambientale accurata e veloce per chip, moduli, schede a circuito integrato, componenti elettronici, ecc. È uno strumento e un'apparecchiatura indispensabile per il test delle prestazioni elettriche dei prodotti, l'analisi dei guasti e la valutazione dell'affidabilità.
Intervallo di controllo della temperatura: da -120 ℃ a+300 ℃, con una velocità di salita e discesa della temperatura molto elevata, da 150 ℃ a -55 ℃<10 secondi, portata massima: 30m ³/ H
Caratteristiche:
Monitoraggio in tempo reale della temperatura effettiva del circuito integrato testato, feedback ad anello chiuso, regolazione in tempo reale del tempo di salita e discesa della temperatura del corpo, funzionamento programmabile, funzionamento manuale e controllo remoto.
Condizioni di prova: temperatura ambiente di 20 ℃, 30m ³/ h. 5 bar, aria compressa o azoto possono essere personalizzati per 100m ³/ H-corpo macchina di prova d'urto rapido, adatto per i requisiti di potenza di prova a portata massima
Refrigeratore di raffreddamento per data center
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Applicazioni:
Una catena completa di infrastrutture di supporto per server raffreddati a liquido è fornita da unità di distribuzione CDU raffreddate a liquido per fornire il liquido di raffreddamento alle piastre di raffreddamento all'interno del rack del server. L'utilizzo massimo dello scambio di calore delle piastre raffreddate a liquido raffredda le principali fonti di calore all'interno del server, riducendo l'utilizzo del sistema di raffreddamento, aiutando il server a raggiungere requisiti di raffreddamento più elevati e una maggiore densità di calcolo per i singoli cabinet, riducendo ulteriormente il PUE e raggiungendo il "picco di carbonio" e la "neutralità del carbonio".
Caratteristiche:
Tipo a piastra fredda 15kW
Tipo di armadio 300kW
La pompa a frequenza variabile può regolare la pressione e la portata idraulica in circolazione
refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab
Heating function
Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.
Communication function
Standard equipment includes serial communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.
client output signal
Forniamo consulenze gratuite e soluzioni complete 7*24
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Controllo della temperatura: -120℃~350℃
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Controllo della temperatura: -40℃~100℃
Simulazione della temperatura per il test di qualità del veicolo: test di durata della batteria, banco di prova dell'iniettore/motore del carburante, test dell'airbag, banco di prova dei componenti, ecc. Può simulare le condizioni ambientali esterne nella camera climatica o sostituire il sistema interno, creando le condizioni di temperatura reali necessarie per il banco di prova.
Sistemi di raffreddamento e riscaldamento (produzione di semiconduttori)
Controllo della temperatura: -85℃~250℃
Suitable for semiconductor process wet washing, photolithography, etching, chemical meteorological deposition, physical meteorological deposition, and the electronics industry (photolithography process)
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Outdoor Chiller
Indoor Chiller