LNEYA Industrial Chillers Manufacturer Supplier -
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Semiconductor Cooling Chiller
FLTZ -45℃~90℃- Precisione della temperatura±0.1℃
- Controllo del flusso25~75/min 6bar max
- RefrigentR404A
- Gamma di potenza380V 3,5kW~16kW
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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori
Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.
Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.
Descrizione del prodotto
Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.
Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.
Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta il riscaldamento a gas caldo del compressore.
Il sistema di circolazione del refrigeratore adotta un design completamente chiuso e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.
Test all'elio del refrigeratore 100%, test delle norme di sicurezza 100% per garantire la sicurezza e l'affidabilità del sistema.
Il refrigeratore fa funzionare la fotocopiatrice ininterrottamente per 24 ore a 100%.
refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
Dettagli sulla configurazione
|
Modello |
FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
|
Controllo della temperatura |
5℃～90℃ |
||||||
|
Precisione della temperatura |
±0.05℃ |
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|
Controllo del flusso |
10～25L/min 5bar max |
15～45L/min 6bar max |
25～75L/min 6bar max |
||||
|
Capacità di refrigerazione@10℃ |
6kw |
8kw |
10kw |
15 kw |
20kw |
25kw |
40kw |
|
Volume del liquido di circolazione interno |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Capacità del vaso di espansione |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
Refrigerante |
R410A |
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|
Refrigerante secondario |
Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, DI, ecc. (la temperatura di DI deve essere controllata al di sopra di 10 ℃). |
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|
Interfacce di ingresso e di uscita |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
|
Uscita acqua di raffreddamento |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Portata dell'acqua di raffreddamento@20℃ |
1,5 m³/h |
2m³/h |
2,5 m³/h |
4m³/h |
4,5 m³/h |
5,6 m³/h |
9m³/h |
|
alimentazione 380V |
3,5kW |
4kW |
5,5kW |
7kW |
9,5kW |
12kW |
16kW |
|
Estensione della temperatura |
Aggiungendo un riscaldatore elettrico, è possibile ampliare l'intervallo di temperatura da -25 ℃ a 80 ℃. |
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|
Modello |
FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
|
Intervallo di temperatura |
-25℃～90℃ |
||||||
|
Precisione del controllo della temperatura |
±0.05℃ |
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|
Controllo del flusso |
10～25L/min ±0,3 |
15～45L/min ±0,3 |
25～75L/min ±0,3 |
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|
Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la pressione massima della pompa di circolazione è di 5 bar. |
|||||||
|
Refrigerazione @-15℃ |
2kw |
3kw |
3,8kw |
6kw |
7,6kw |
10kw |
15kw |
|
Circolazione interna Volume del fluido |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Volume del vaso di espansione |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
refrigerante |
R404A |
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|
Refrigerante secondario |
Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc. |
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|
Interfaccia di ingresso e di uscita |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
|
Collegamento all'acqua di raffreddamento |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Flusso d'acqua di raffreddamento@20℃ |
1,2 m³/H |
1,6 m³/H |
2,6 m³/H |
3,6 m³/H |
5,5 m³/H |
7m³/H |
10,2 m³/H |
|
Potenza 380V |
3KW |
4KW |
6KW |
8KW |
9KW |
13KW |
17KW |
|
Espansione della temperatura |
Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃. |
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|
Modello |
FLTZ-402FLTZ-402W | FLTZ-403FLTZ-403W | FLTZ-404FLTZ-404W | FLTZ-406FLTZ-406W | FLTZ-408FLTZ-408W | FLTZ-410FLTZ-410W | FLTZ-415FLTZ-415W |
|
Controllo della temperatura |
-45℃～90℃ | ||||||
|
Precisione del controllo della temperatura |
±0.05℃ |
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|
Controllo del flusso |
10～25L/min 5bar max |
15～45L/min 6bar max |
25～75L/min 6bar max |
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|
Riscaldamento |
Il riscaldamento del compressore viene utilizzato per prevenire la tecnologia di congelamento del condensatore. |
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|
Capacità di refrigerazione @-35℃ |
1kw |
1,4kw |
1,8kw |
2,5kw |
3,3kw |
5kw |
8kw |
|
Volume del fluido di circolazione interno |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Volume del vaso di espansione |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
|
Refrigerante |
R404A |
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|
Refrigerante secondario |
Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc. |
||||||
|
Interfaccia di ingresso e di uscita |
ZG1/2 |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG3/4 |
|
Collegamento all'acqua di raffreddamento |
ZG1/2 |
ZG3/4 |
ZG3/4 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 |
ZG1 1/8 |
|
Flusso di acqua di raffreddamento @20℃ |
1,5m³/H |
2,4 m³/H |
3,5 m³/H |
5m³/H |
5,5 m³/H |
6m³/H |
8m³/H |
|
Potenza 380V |
3KW |
4KW |
6KW |
7,5KW |
9KW |
12KW |
15KW |
|
Espansione della temperatura |
Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃. |
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Communication function
Standard equipment includes serial
Communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.
client output signal
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