Refrigeratore di raffreddamento

Per migliorare il tasso di rendimento dei prodotti e garantire la redditività, il controllo della qualità deve essere effettuato in ogni fase dell'industria dei semiconduttori. Un fattore importante che influisce sulla qualità del prodotto è la temperatura, e la stabilità e l'accuratezza della temperatura sono molto importanti per garantire prodotti stabili e affidabili. Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Può essere utilizzato nei processi di lavorazione: ossidazione, rivestimento con colla, fotolitografia, sviluppo, incisione, impiantazione ionica, rimozione della colla, deposizione di film, CMP, pulizia.

Top dielectric etching dual channel chiller
Metal hard mask etching single channel chiller
Shallow trench isolation trench etching single channel chiller
Side wall etching single channel chiller
Metal hard mask etching single channel chiller
Shallow trench isolation trench etching single channel chiller
Polycrystalline silicon etching single channel chiller
Side wall etching single channel chiller
Edge etching single channel chiller
Dielectric etching dual channel chiller
Photoresist etching back dual channel chiller
Polycrystalline silicon etching dual channel chiller
Shallow trench isolation trench etching dual channel chiller
Top layer dielectric etching (cathode) single channel chiller
Top layer dielectric etching (chamber wall) single channel chiller
Dielectric etching dual channel chiller
Contact hole etching dual channel chiller